美國派克UHP 隔膜閥930系列技術參數：

派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優異的泄漏完整性，高循環使用壽命和低顆粒發生，非常適用于UHP半導體應用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設計，可大限度地減少顆粒產生和截留，減少半導體應用中*的工藝污染。該系列閥門的嚴格設計，控制閥座和隔膜應力，以提供穩定和免維護的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結合930系列嚴格的設計特點，給予了930系列產品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關或接近開關，用以提供開 - 關位置指示。還有多種閥體構造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。

930系列閥門上內部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行氦氣泄露測試，以適應在苛刻的UHP應用中，保有其性能和穩定性。

市場：
• 半導體
• 分析實驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業

特點與優勢：
• 電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
• 高循環使用壽命（包括耐腐蝕服務）
• 內部無彈簧和無螺紋設計可大限度地減少顆粒產生和氣體截留
• 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
• 內部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅動，額定壓力為75 psig

應用：
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導體工具
• 工具連接
• 燃氣柜
• 閥組箱（VMB）